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微纳米测量技术
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微纳米测量技术
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作　　者：王伯雄、陈非凡、董瑛 
出 版 社： 清华大学出版社
  • 出版时间：2006-8-1
  • ISBN：7302130639
  • 版次：第1次
  • 开本：23cm
  • 包装：平装
  • 销售状态：在销
定价：￥24.00　 时代网价：￥20.40　折扣：85折　节省：￥3.60　
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    • 内容简介

    本书讲述了微纳米测量技术的基本理论和方法、微纳米测量系统的工作原理及构成以及对不同物理量的微纳米测量应用。全书共4章，内容包括：微纳米测量技术的意义、特点和研究的内容；微型传感器的工作原理及其典型应用；微纳米测量技术巾的光学方法，光学测量系统的结构及应用；微纳米尺度的几何量、表面粗糙度、表面微观形貌、MEMS材料机械特性、微应力和微应变、微位移、速度和加速度、振动、声和超声等典型物理量的测量技术应用。
    更多内容介绍

    目录介绍

    1 绪论
    1.1测量和测量系统
    1.2微纳米技术和微系统技术
    1.2.1微纳米技术的产生和发展
    1.2.2微系统技术
    1.2.3微系统技术加工方法
    ……
    更多目录介绍
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